所謂真空干燥，就是將待干燥的物料置于一個封閉空間中，用真空設備將封閉空間內的氣壓降至一個大氣壓下，與此同時不斷地對物料進行加熱，這樣物料內的水分子由于壓力差和濃度差的作用逐漸擴散到物料的表面，在物料表面獲得足夠的動能以后，逐漸克服分子間吸引力的束縛，逃逸到低氣壓的真空室中，然后通過真空泵排到大氣中。

真空干燥主要經歷三個過程：
首先是傳熱過程，物料通過熱源吸收熱量，升溫并將內部的濕份汽化；
其次，物料內部濕份液態傳質過程，物料內部的水分以液態的形式向表面移動，然后在表面完成汽化；
最后，物料表面濕份的氣態傳質過程，在物料表面汽化的水蒸氣逐漸逃逸到真空室內部，并通過真空室流向外界。

要完成以上的傳熱傳質過程，溫度、壓力及濃度為關鍵控制因素；
溫度：熱源溫度要明顯大于物料的溫度，滿足自身溫度升高以及濕份汽化所需的能量，溫度越高，干燥越快。
濃度：所謂濃度，指的是物料內部濕份的濃度，物料內部濃度要高于物料表面濃度，在毛細管力及濃度差的作用下，向表面遷移，最終使濕份的濃度不斷降低。
壓力：物料表面的蒸汽壓力要高于干燥箱內的蒸汽分壓力，這是真空干燥的核心理論。
真空干燥熱力學主要研究的是水的汽化溫度和飽和蒸氣壓以及真空度三者之間的關系，其理論基礎可以用克拉伯龍．克勞修斯公式表達。



水的汽化溫度與飽和蒸氣壓成正相關性，與真空度成負相關性。飽和蒸氣壓越小，水的汽化溫度也隨之變小，同理真空度越大，水的汽化溫度就越小。因此可知在真空環境中水更容易實現低溫汽化，當溫度保持一定值的時候，提高干燥室內的真空度，可以使物料表面更多的水分轉化為水蒸氣，同樣可以起到加速干燥的效果。

對于鋰離子電池的烘烤工藝原理及主要過程如下：
在常壓下加熱一段時間，使物料整體升溫到設定溫度，同時物料中的濕份汽化；通過抽真空降低水的汽化溫度，加速干燥，水分蒸發到一定程度后；通過充氮氣破真空，排出濕氣，保持干燥環境加熱一定時間，再次抽真空，如此循環，直至干燥完成。

烘烤方式按加熱方式有兩種，接觸式烘烤和熱風循環式烘烤；
熱風循環式烘烤是通過加熱單元將氣體加熱，然后通過循環系統對電池進行加熱。
接觸式烘烤是加熱單元直接對電池進行烘烤加熱，相對于熱風循環式烘烤具有溫度均勻性好、烘烤周期短等特點。